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直接驅(qū)動電動位移臺，8MTL系列電動平移臺采用三相無鐵無刷伺服電機技術(shù)，可通過高精度，可重復(fù)性和低摩擦力實現(xiàn)零間隙運動。線性非接觸式光學(xué)編碼器可確保以亞納米級的運動分辨率直接控制位置。氧化鋁合金保證了高溫穩(wěn)定性，8MTL儀器的柔軟性和優(yōu)異的長周期運動學(xué)，無導(dǎo)向系統(tǒng)漂移。該平臺占地面積小，可將其集成到高密度機器和狹小空間應(yīng)用中，且可用于超凈室和真空（高達10-3 Torr）應(yīng)用。

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鐵磁不銹鋼面包板 整體采用三層加心架構(gòu)，厚度50mm，上臺面為不銹鋼，中心為蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，底面為碳鋼。上臺面采用精密磨削工藝，保證臺面的平面度。

鋁合金光學(xué)平板 采用優(yōu)質(zhì)鋁合金材料，兩面精密拋光，重量輕，容易搬動； 臺面陣列的標(biāo)準(zhǔn)孔距和螺紋孔便于固定各種調(diào)整架； 表面發(fā)黑處理，美觀耐用； 特殊規(guī)格，特殊材料接受訂做；

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